DHEX-26 Hexapod

DHEX-26 Hexapod

DH-RoboticsのDHEX-26は、高精度小型ヘキサポッドアライメントステージです。位置指令を受信し、X、Y、Z、θX、θY、θZの6自由度方向において高精度な動作と姿勢調整を実現し、複雑な空間位置決めやアクティブアライメントのニーズに対応します。

DHEX-26は、コンパクトなパラレルリンク構造を採用し、高剛性と高い安定性を備えています。回転中心のカスタム設定に対応し、設置が容易で操作性にも優れています。光ファイバカップリング、シリコンフォトニクスチップのテスト、カメラモジュールの組立などの高度な精密製造分野に加え、研究実験、精密検査、精密組立などの分野にも幅広く適用できます。

独自の特長

DHEX-26は、革新的なパラレルリンク機構を採用し、ヘキサポッドステージの高周波往復運動時に発生しやすい動作の「引っ掛かり」の問題に対して、専用の最適化を施しています。長時間の運転後にボールねじやガイド機構が固着することを効果的に防ぎ、生産ラインの連続稼働における安定性と信頼性を確保します。

用途

シリコンフォトニクスおよびシリコンフォトニクスチップのウェハテスト｜光学検査、レンズ調芯、精密組立｜光ファイバカップリングおよび受動光デバイスのパッケージング｜研究実験およびその他の精密位置決め用途

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製品の詳細 応用 関連資料

 

製品の特徴

6自由度の一体型モーション

X/Y/Z方向の並進＋θX/θY/θZ方向の回転

プログラミング・制御が容易

専用シミュレーションソフトウェアにより、迅速な評価と導入が可能

超高精度

ナノメートルレベルのアライメントおよび位置決めニーズに対応

超高剛性

高い剛性と優れた外乱耐性を備える

その他の特徴

  • 回転中心のカスタム設定： ソフトウェアで設定でき、機械構造の変更は不要
  • シームレスな置き換え： 海外主要メーカー製品の取付寸法に対応し、性能指標も同等

製品パラメータ

Motion Specification
DHEX-26
ParameterToleranceXYZθXθYθZ
Travel±17 mm±16 mm±6.5 mm±10°±10°±21°
Max. Velocity20/10 mm/s20/10 mm/s20/10 mm/s500/250 mrad/s500/250 mrad/s500/250 mrad/s
Min. Incremental MotionTyp.0.04 μm0.04 µm0.02 µm0.5 μrad0.5 μrad0.75 μrad
Unidirectional RepeatabilityTyp.±0.15 μm±0.15 µm±0.06 µm±2 μrad±2 μrad±3 μrad
BacklashTyp.0.2 μm0.2 µm0.06 µm2 μrad2 μrad4 μrad
Mechanical Specifications
DHEX-26
ParameterValueUnit
Max. Load Capacity
(base plate in any orientation)		2.5kg
Max. Load Capacity
(base plate horizontal)		5kg
Max. Holding Force
(base plate in any orientation)		2.5N
Max. Holding Force
(base plate horizontal)		15N
Mass2.8kg
MaterialStainless steel, aluminum—
Electrical Specifications
DHEX-26
ParameterValueUnit
ControllerDHC-750—
FeedbackIncremental displacement sensor—
Rated Operating Voltage24VDC
Max. Bus Voltage24VDC
Rated Current (per axis)2.5A
Communication InterfaceTCP/IP—
Connector for Data TransmissionHD D-sub 62(f) & HD D-sub 37(f)—
Connector for Supply VoltageM12 3-pole(m)—
Cable Length2m
Operating Temperature Range0~50°C
Notice● The data is included in the delivery of the product in the form of a measurement report and is stored at DH-Robotics.
● For maximum velocity and maximum angular velocity, the higher value is the peak velocity while the lower value is the recommended
velocity. Continuous operation at the peak velocity is not recommended, as it may increase vibration and shorten service life.
● Unless otherwise stated, the values are for unloaded conditions. Some properties are interdependent. The designation "Typ." indicates a
statistical average for a property; it does not indicate a guaranteed value for every product supplied. During the final inspection of a product, only selected properties are analyzed, not all.

応用

 

関連資料

全部 製品マニュアル 3Dモデル ユ-ザ-ガイ ド ソフトウエアプラグイン

DHEX-26-Datasheet

Version 202609 ・ Format PDF ・ Date 2025-11-13 ダウンロード

 

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