DHEX-100-50 Hexapod

大寰 Hexapod は、高精度の6自由度並列運動プラットフォームであり、デカルト座標系の位置指令を受けるだけで、空間の6自由度（X、Y、Z、θX、θY、θZ）において自動運動と精密な位置決めを実現し、複雑な空間軌跡制御を可能にします。本プラットフォームは構造がコンパクトで高精度かつ安定性に優れ、回転中心の自由な定義に対応し、操作が簡単で設置も容易です。光ファイバー結合、シリコンフォトニクスチップの試験、カメラモジュールの組み立てなどの高精度用途において、大寰 Hexapod は迅速かつ正確な能動アライメントを実現します。また、科研実験、精密検査および組立など、6自由度の連動制御を必要とする様々な場面で広く適用されています。

応用シーン

能動アライメント｜光ファイバー結合｜シリコンフォトニクスウェハ試験｜カメラモジュール組立｜光学試験｜精密アライメント｜精密組立｜科学研究

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製品の詳細応用関連資料

製品の特徴

構造コンパクト

136mmのコンパクトシャーシ、114.3mmの超低い起動高さで、限られたスペースにも容易に統合可能。

超高精度

繰り返し位置決め精度は±0.06µmに達し、微小・ナノレベルのアライメントと位置決め要求を満たします。

安定信頼性

革新的な機構設計により、運動の「引っかかり」を効果的に防止し、長時間の安定稼働を保証。

卓越した性能

並列構造により高い剛性、軽い移動質量、迅速な動的応答を実現し、累積誤差がありません。

その他の特徴

供給保証：自社生産で十分な生産能力を確保し、安定供給と迅速な納品を支援。
迅速なサービス：専門技術サポートを提供し、迅速に対応、柔軟なカスタムソリューションも可能。

製品パラメータ

運動軸	DHEX-100-50
X行程	±17 mm
Y行程	±16 mm
Z行程	±6.5 mm
θX行程	±10°
θY行程	±10°
θZ行程	±21°
X最大速度	20/10 mm/s*
Y最大速度	20/10 mm/s*
Z最大速度	20/10 mm/s*
θX最大角速度	500/250 mrad/s*
θY最大角速度	500/250 mrad/s*
θZ最大角速度	500/250 mrad/s*
X最小移動量	0.2 µm
Y最小移動量	0.2 µm
Z最小移動量	0.08 µm
θX最小移動量	2.5 µrad
θY最小移動量	2.5 µrad
θZ最小移動量	5 µrad
X単方向繰返し精度	±0.15 µm
Y単方向繰返し精度	±0.15 µm
Z単方向繰返し精度	±0.06 µm
θX単方向繰返し精度	±2 µrad
θY単方向繰返し精度	±2 µrad
θZ単方向繰返し精度	±3 µrad
Xバックラッシュ	0.2 µm
Yバックラッシュ	0.2 µm
Zバックラッシュ	0.06 µm
θXバックラッシュ	2 µrad
θYバックラッシュ	2 µrad
θZバックラッシュ	4 µrad
最大負荷（ベースプレート任意方向）	2.5 kg
最大負荷（ベースプレート水平）	5 kg
停電時保持力（ベースプレート任意方向）	2.5 N
停電時保持力（ベースプレート水平）	15 N
説明	高速はチャレンジ速度であり、低速は最低基準速度です。長時間にわたり非常に高速での運動を行うと、運動の滑らかさが損なわれる可能性があります。製品の信頼性を最大限に高め、リスクをできるだけ減らすために設定されています。低速の指標は、対象の使用環境における品質や効率に影響を与えません。

応用

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